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磁力泵在多晶硅中的应用

    多晶硅生产主要集中在美、日、德三国.世界市场由7家公司占有，1998年多晶硅产呈为16200t，其中德山曹达、黑姆洛克、瓦克三家公司占产量的63%.我国多晶硅工业起步干20世纪50年代，60年代中期实现工业化生产，70年代初曾一度盲目发展，生产厂发展到20余家。2003年，四川新光引进俄罗斯技术，我国多晶硅工业开始新的飞跃.多晶硅生产方法主要为改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应护法。现在国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用改良西门子法—闭环式三氛氢硅还原法。生产电子级与太阳能级多晶硅。在2005年前多晶硅扩产中100%都采用改良西门子工艺。在2005年后多晶硅扩产中除Elkem外。基本上仍采用改良西门子工艺。

    改良西门子法是用氮和氢合成氛化氢(或外购氮化氮).氛化氮和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原护内进行CVD反应生产高纯多晶硅。改良西门子法—闭环式三氯氢硅还原法工艺拢程:①氢气制备与净化工序。②氯化氢合成工序(或外购)。③三氯氢硅合成工序。④三氯氢硅精馏提纯工序。⑤三氯氢硅还原工序。
多晶硅生产中，磁力泵主要用在三氯氢硅合成工序，三氯氢硅精馏提纯工序和三氯氢硅还原工序，输送氯硅烷。四氯化硅在常温常压下为具有窒息性刺激臭的无色透明有毒液体。氯硅烷除了有毒，还容易汽化以及和空气中的水发生水解反应。在四氯化硅的烟雾中含有其水解产物盐酸。所以四氯化硅的毒作用主要表现在其强烈的刺激性和腐蚀性。

    由于氯硅烷的毒性和化学性质比较活跃。目前多推荐使用屏蔽泵和磁力泵。屏蔽泵在出现重大故障时，现场可维修性比较差，停车维修时间长，造成的间接损失比较大，磁力泵的现场可修性好.停车维修操作简单快捷。但是当磁力泵的隔离罩发生破裂故障时，介质很容易泄瀚到空气中，发生事故。为了解决磁力泵故障泄漏的二次控制问题.汉胜工业设备(上海)有限公司向多晶硅用户推荐了带有二次控制的HMD磁力泵。HMD进力泵参照API685-2000中对二次控制的要求，对普通磁力泵增加了磁力密封，形成二次承压壳体，实现二次控制。

    当故降工况致使磁力泵的一次承压壳体损坏后，液体泄漏可以被控制在最少的状态。如果二次承压壳体连接合适的排液系统.一次承压壳体泄漏时，泄漏到二次承压壳体内的介质.就可以通过排液系统安全的排放。二次承压亮体还可以安装监侧装置，在一次承压壳体损坏的时候可以用压力开关停泵，同时发送警报信号。也可以在泵的二次承压壳体最低点安装液体感应器来探测泄漏同时停泵和发送警报信号。如果担心一次承压壳体损坏后，二次承压壳体内的压力上升缓慢，不足以触动压力开关，还可以在二次承压壳体的排液接口处安装一个额定压力为1bar的爆破膜.来确保压力开关动作。二次承压壳体的排液口联接的排液系统的压力必须小于防爆膜另一侧的压力，同时整个排液系统的压力必须小于密封装里的额定压力，这样才能保证所有泄漏的液体会通过排液系统排掉。

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